%0 Journal Article %T 溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响 %A 邸利锋 %A 丁爱丽 %A 何夕云 %A 罗维根 %J 无机材料学报 %D 2002 %X 摘要: 研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向 PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SIO2/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜. %K 弛豫铁电体 %K 溶胶-凝胶 %K 热解 %K 退火 %U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract10486.shtml