%0 Journal Article
%T 激光致溅射沉积Ge2Sb2Te5薄膜的结晶行为研究
%A 刘波
%A 阮昊
%A 干福熹
%J 无机材料学报
%D 2002
%X 摘要： 利用ＸＲＤ研究了激光致溅射沉积Ｇｅ２Ｓｂ２Ｔｅ５薄膜的结晶行为;研究发现,与热致相变不同的是,激光致相变只发生从非晶态到ＦＣＣ晶态结构的转变,从ＦＣＣ到ＨＣＰ的结构转变不再发生,这有利于提高相变光盘的信噪比．Ｇｅ２Ｓｂ２Ｔｅ５薄膜的结晶程度受初始化功率和转速的影响．
%K Ge<SUB>2</SUB>Sb<SUB>2</SUB>Te<SUB>5</SUB>
%K 激光致相变
%K X射线衍射
%K 面心立方
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract10439.shtml