%0 Journal Article
%T 沉积条件对CVD-SiC沉积热力学与形貌的影响
%A 肖鹏
%A 黄伯云
%A 徐永东
%J 无机材料学报
%D 2002
%X 摘要： 以CH3SiCl3为源物质,H2为载气,Ar气为稀释气体,研究了沉积温度和沉积气氛压力对SiC沉积形貌的影响.应用晶体成核-长大理论和SiC沉积热力学理论,解释了SiC沉积的各种形貌.研究表明;降低系统压力和提高沉积温度,能减小SiC在气相中形核所需的最大能量,促进形核.SiC沉积热力学随沉积条件的改变决定了SiC沉积形貌的改变.
%K SiC
%K 形貌
%K 沉积热力学
%K 沉积条件
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract10318.shtml