%0 Journal Article
%T 用光刻、软刻和氧化硅球晶体模板制备表面微结构
%A 夏海平
%A 张约品
%A 王金浩
%A 章践立
%A 徐键
%J 无机材料学报
%D 2005
%X 摘要： 表面微结构的制备对获得超疏水性表面和改善生物医学材料性能具有重要意义. 为了制备微米、亚微米和纳米级表面微结构, 本文采用光刻(photo-lithography)和软刻技术(soft lithography) 制备了微米尺寸长方体或圆柱体的阵列, 压印出变形长方体(塔状)或圆柱体(圆盘状)阵列的微结构表面; 采用单分散氧化硅球自集聚紧密堆积而成的胶体晶体为模板, 制备了亚微米/纳米 尺寸网状微结构的表面. 用光学和扫描电子显微镜表征了所获得的表面微结构.
%K 微结构
%K 光刻
%K 软刻
%K 氧化硅球
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract9130.shtml