%0 Journal Article
%T TiN/Ti多层膜调制比对摩擦磨损行为影响的研究
%A 张晨辉
%A 徐军
%A 邵天敏
%A 龚海飞
%J 无机材料学报
%D 2008
%X 摘要： 考察了TiN/Ti多层膜调制比对其摩擦磨损行为的影响. 采用磁过滤阴极弧沉积的方法制备了具有不同调制比的TiN/Ti多层膜, 用扫描电镜和透射电镜对其层状结构及子层结构进行了观察和分析. 用纳米压痕和SRV摩擦磨损试验的方法, 对多层膜进行了纳米硬度和弹性模量测试以及摩擦磨损实验. 结果表明, 所制备的TiN/Ti多层膜层状结构清晰, 与基底结合良好, 调制比对多层膜的硬度和磨损特性影响较大, 而对摩擦系数的影响却不明显. 结合实验结果, 讨论了硬度与弹性模量的比值(H/E值)对TiN/Ti多层膜耐磨性的影响.
%K TiN/Ti
%K 多层膜
%K 层状结构
%K 摩擦磨损
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2008.00758