%0 Journal Article
%T 冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究
%A 任世强
%A 姜大川
%A 安广野
%A 张磊
%A 王凯
%A 王峰
%A 谭毅
%A 郭校亮
%A 李鹏廷
%J 无机材料学报
%D 2017
%X 摘要： 以工业硅为原料,利用介质熔炼、定向凝固和电子束熔炼三种熔体处理技术对工业硅中的B、P和金属杂质进行了去除,制备出了99.9999%级多晶硅材料,其中,杂质B和P的含量分别低于0.20 ppmw（parts per million (weight),百万分之一质量）,金属杂质总含量（TM）低于0.23 ppmw。研究发现,介质熔炼去除杂质B的过程中,熔体中发生氧化还原反应可以有效去除大部分的杂质Al和Ca;电子束熔炼过程中,利用饱和蒸气压原理可以有效去除挥发性杂质P、Al、Ca,同时降束诱导多晶硅定向凝固,可将其他金属杂质进一步去除。本研究通过各技术间的耦合除杂,减少了冶金法提纯多晶硅的工序,为连续化、规模化生产提供了技术支撑。
%K 工业硅
%K 介质熔炼
%K 定向凝固
%K 电子束熔炼
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.15541/jim20160324