%0 Journal Article
%T 直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究
%A 石春梅
%A 袁媛
%A 赵高扬
%A 张卫华
%J 无机材料学报
%D 2008
%X 摘要： 采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺, 以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂, 以乙酰丙酮为化学修饰剂, 利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性, 制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)前驱溶胶及其凝胶薄膜; 结合直接感光法, 首先制备图形化凝胶薄膜, 再通过后续热处理, 在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜, 其图形厚度约为793nm, 相对介电常数约为600, 介电损耗约为0.03.
%K BST薄膜
%K 感光性
%K 微细图形
%K 溶胶-凝胶工艺
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2008.00886