%0 Journal Article
%T 利用激光刻蚀技术提高Ba0.5Sr0.5Co0.8Fe0.2O3-δ膜的透氧能力
%A 申梓刚，路朋献，，胡 行
%J 无机材料学报
%D 2010
%X 摘要： 利用激光刻图机对Ba0.5Sr0.5Co0.8Fe0.2O3-δ(BSCFO)透氧膜表面进行刻蚀，以提高膜表面的比表面，改善膜的氧表面交换能力，从而达到提高透氧量的目的。研究结果表明，激光刻蚀在膜表面形成宽150μm，深25μm的条纹，可以显著提高膜表面的比表面积。XRD谱显示，激光刻蚀不会引起 BSCFO相结构的变化。透氧量测试表明，激光刻蚀可以增大透氧量，十字交叉双面刻蚀效果更加显著。十字交叉双面刻蚀后，其透氧量比未用激光处理的样品提高了大约34%。
%K 透氧膜
%K 激光刻蚀
%K 比表面积
%K 透氧量
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2009.09474