%0 Journal Article
%T 金刚石薄膜在氧化铝陶瓷上低压成核
%A 王志明
%A 夏义本
%A 杨莹
%A 方志军
%A 王林军
%A 居建华
%A 范轶敏
%A 张伟丽
%J 无机材料学报
%D 2002
%X 摘要： 在微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中,用低压成核方法,在氧化铝陶瓷基片上获得了高成核密度的金刚石薄膜.实验表明,金刚石成核密度随系统压强减小而提高.在此基础上,提出一种MPCVD系统中金刚石成核的动力学模型,并指出对应于最高成核密度有一临界压强存在.
%K 金刚石薄膜
%K MPCVD
%K 氧化铝陶瓷
%K 系统压强
%K 成核
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract10383.shtml