%0 Journal Article
%T 铌表面固体粉末包埋渗硅研究
%A 李明
%A 宋力昕
%A 乐军
%A 宋学平
%A 郭占成
%J 无机材料学报
%D 2005
%X 摘要： 采用固体粉末包埋渗硅工艺在铌表面制备了二硅化铌涂层,研究了渗硅过程中Si沉积的反应机理和二硅化铌涂层的结构.结果表明:涂层由单相的二硅化铌组成;Si的输运和沉积主要依靠硅的低氟化物SiF2完成.
%K 渗硅
%K 涂层
%K 铌
%K 二硅化铌
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract9355.shtml