%0 Journal Article %T 基于特征空间k最近邻的批次过程监视 %A 李元 %A 袁杰 %A 郭小萍 %J - %D 2014 %R 10.3724/SP.J.1004.2014.00135 %K 特征空间k最近邻 %K 过程监视 %K 批次过程 %K 半导体生产过程 %U http://www.aas.net.cn:80/cn/article/doi/10.3724/SP.J.1004.2014.00135