%0 Journal Article
%T 基于特征空间<i>k</i>最近邻的批次过程监视
%A 李元
%A 袁杰
%A 郭小萍
%J -
%D 2014
%R 10.3724/SP.J.1004.2014.00135
%K 特征空间k最近邻
%K 过程监视
%K 批次过程
%K 半导体生产过程
%U http://www.aas.net.cn:80/cn/article/doi/10.3724/SP.J.1004.2014.00135