%0 Journal Article
%T 基于局部与非局部线性判别分析和高斯混合模型动态集成的晶圆表面缺陷探测与识别
%A 余建波
%A 卢笑蕾
%A 宗卫周
%J -
%D 2016
%R 10.16383/j.aas.2016.c150311
%K 半导体制造
%K 晶圆缺陷
%K 模式识别
%K 流形学习
%K 高斯混合模型
%U http://www.aas.net.cn:80/cn/article/doi/10.16383/j.aas.2016.c150311