%0 Journal Article
%T 二氧化钒纳米周期点阵的光学特性
%A 伍征义
%A 刘飞
%A 唐佳茵
%A 孙瑶
%A 徐婷婷
%A 方宝英
%A 李毅
%A 王晓华
%A 肖寒
%A 蒋蔚
%A 郝如龙
%A 陈培祖
%J 红外与毫米波学报
%D 2016
%X 为了得到相变温度低且性能优越的智能窗光学材料,基于时域有限差分法模拟计算了不同结构的VO2纳米周期点阵相变前后的光学特性,优选出最佳的VO2纳米周期点阵结构.采用直流磁控溅射和后退火工艺在玻璃衬底上制备VO2薄膜,再利用掩膜光刻的方法制备VO2纳米周期点阵结构,测试其组分结构,反射和透过率曲线.结果表明,填充比为0.74的圆形纳米周期点阵的相变温度有效降低了约25 ℃,在波长为1700 nm处的透过率改变量达到39 %,透过率整体高于VO2薄膜,呈现出良好的相变光学特性,说明通过调控VO2纳米周期点阵的结构可以有效提升材料的光学特性
%K VO2 纳米周期点阵 光学特性 热致相变
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=150182&flag=1