%0 Journal Article
%T 等离子体材料银铟合金光学性质的组分依赖性
%A 张冬旭
%A 张荣君
%A 张金波
%A 杨尚东
%A 王松有
%A 胡二涛
%A 郑玉祥
%A 陈良尧
%J 红外与毫米波学报
%D 2016
%X 采用磁控溅射方法在硅衬底上生长了五个不同组分的银铟合金薄膜.采用椭圆偏振光谱仪研究银铟合金薄膜的光学性质.银基金属薄膜一般在3.9 eV附近出现典型的带间跃迁.随着铟含量的增加,银铟合金薄膜的介电函数呈现出明显增加的趋势,典型带间跃迁能量也出现蓝移.结果表明,银铟合金薄膜的光学性质可以通过其中铟元素的含量进行调控.Ag0.93In0.07薄膜比其他四种组分的银铟合金薄膜有着更大的品质因子(Q因子),而且在一些波段甚至比纯金属金和铜的Q因子都要大,这表明银铟合金材料具有成为新型等离子体材料的潜
%K 银铟合金薄膜 磁控溅射 光学性质 椭圆偏振光谱仪
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=150091&flag=1