%0 Journal Article
%T 掺杂对 ZnO 半导体薄膜光学性能的影响
%A 康 淮
%A 王皓宁
%A 陆 轴
%A 龙 浩
%A 钟志有
%J 中南民族大学学报(自然科学版)
%D 2017
%R 10.12130/znmdzk.20170315
%X 以掺杂氧化锌(ZnO) 陶瓷靶为溅射源材料，采用射频磁控溅射技术在石英玻璃衬底上制备了掺杂 ZnO 系列半导体薄膜样品． 利用紫外-可见分光光度计测量了薄膜的透射光谱， 通过 Swanepoel 法确定了薄膜的折射率和消光系数，利用外推法获得了薄膜的光学带隙，研究了不同掺杂对 ZnO 薄膜光学性能的影响．结果表明，钛掺杂和 镓镁合掺后，ZnO 薄膜的透过率和光学带隙增加而折射率减小; 所有薄膜的折射率均随波长增加而单调减小，呈现出正常的色散特性
%K 掺杂氧化锌 半导体薄膜 光学性能
%U http://znzk.scuec.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20170315&flag=1