%0 Journal Article
%T AlTiSiN /AlCrSiN 纳米多层复合涂层的结构及性能研究
%A 刘 琰
%A 万 强
%A 刘辉东
%A 杨 兵
%A 罗 畅
%A 蔡 耀
%A 陈 浩
%A 陈燕鸣
%J 中南民族大学学报(自然科学版)
%D 2016
%R 10.12130/znmdzk.20160303
%X 以AlTiSi合金和AlCrSi合金为靶材料，采用阴极电弧离子镀技术在单晶硅、硬质合金基底上沉积AlTiSiN/AlCrSiN纳米晶多层复合涂层，系统研究了氮气压强变化对AlTiSiN/AlCrSiN复合涂层结构和力学性能的影响.利用扫描电镜和X射线衍射仪分析了涂层的形貌和相结构，用显微硬度计和摩擦磨损仪测量了涂层显微硬度和摩擦系数.结果表明：氮气压强对涂层微结构和性能具有较大影响，涂层是以NaCl型TiN和CrN相结构为主的多晶材料.由于多元素掺杂导致复合涂层的衍射峰与纯TiN和CrN衍射峰位相比发生一定的偏移.随着氮气压强的增大，涂层的衍射峰强度逐渐降低并宽化，说明随着氮气压强的增大晶粒尺寸减小.涂层表面的颗粒污染和沉积气压密切相关，随气压增加污染颗粒尺寸逐步减少，涂层表面粗糙度降低；当氮气压从2 Pa增加到4 Pa时涂层的硬度值由2437.9 HK逐渐增大至3221.5 HK；涂层摩擦学性能也和氮气压密切相关，当氮气压强低于3 Pa时，平均摩擦系数约0.410；而在氮气压强高于3 Pa后，平均摩擦系数逐渐降至0.258
%K 电弧离子镀 AlTiSiN/AlCrSiN 氮气压强 显微硬度 摩擦系数
%U http://znzk.scuec.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20160303&flag=1