%0 Journal Article %T 磨料混合对蓝宝石抛光效果的影响 %A 汪海波 %J 润滑与密封 %D 2018 %R 10.3969/j.issn.0254-0150.2018.06.008 %X 磨料的粒径分布严重影响蓝宝石抛光,传统的抛光模型无法说明粒径分布的作用效果。针对这一问题,以不同粒径磨料混合放大粒径分散性影响,研究单一磨料和2种粒径混合磨料对抛光速率的影响。结果表明:2种不同粒径混合能够明显提高抛光速率,在一定质量比条件下可以达到最大值,并且粒径差距越大,抛光速率越快;不同粒径磨料混合影响抛光温度和磨料使用寿命,这是因为其一方面增加磨料整体羟基官能团数量,另一方面可以形成不同磨料间的密堆积,增加与蓝宝石接触面积。以此为基础,讨论多粒径分布的抛光动力学过程,并提出抛光动力学模型 %K 分散性 蓝宝石 化学机械抛光 粒径分布 抛光速率 %U http://www.rhymf.com.cn/tg/rhymf/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=RF20170344&flag=1