%0 Journal Article
%T 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法
%A 向阳
%A 张璐
%J 中国激光
%D 2018
%R 10.3788/cjl201845.0804008
%X 针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法，并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明，将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差，在干涉仪系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。实验数据的重复性的均方根可以达到0.14 nm。
%U http://www.opticsjournal.net/Articles/abstract?aid=OJ180811000230NkQnTp