%0 Journal Article
%T 基于复振幅调制的半导体激光光束整形方法
%A 严利平
%A 张世华
%A 徐哲毅
%A 陈本永
%A 陈瑞品
%J 中国激光
%D 2018
%R 10.3788/cjl201845.0605005
%X 为了改善半导体激光光束质量，使其能够满足大距离高精度干涉测量的要求，使用空间光调制器对半导体激光光束进行整形，提出了一种基于复振幅调制算法的光束整形方法。利用该方法可将半导体激光光束整形为准直性好、光强分布均匀的无像散基模高斯光束。通过光束质量分析对整形后的光束进行评估，实验结果显示整形后半导体激光光束在x和y方向的M2因子均趋于1，像散接近于0，验证了该光束整形方法的有效性。将提出的半导体激光光束整形方法应用于大距离干涉测量中，在8 m处进行了微米级步进位移测量，与纳米位移工作台相比，所得结果达到了亚波长的测量精度。实验结果表明整形后的光束能够满足大距离高精度干涉测量的要求，验证了提出的半导体激光光束整形方法的可行性。
%U http://www.opticsjournal.net/Articles/abstract?aid=OJ1806050000399FbIeK