%0 Journal Article %T 用于光谱控制的棱镜扩束装置精密装调特性分析 %A 周翊 %A 王倩 %A 赵江山 %J 中国激光 %D 2018 %R 10.3788/cjl201845.0401012 %X 线宽压窄模块是光刻用准分子激光器的重要组成部分。线宽压窄模块中棱镜组及光栅的装配角度直接影响系统输出特性。为了进一步改进准分子激光器线宽压窄模块工程化安装与调试工艺,研究了棱镜扩束器中棱镜角度偏差对系统线宽及能量的影响。通过理论推导及实验验证,分析了单个棱镜角度偏转对准分子激光系统线宽及能量的影响,确定了每个棱镜的装调误差;实验结果与理论分析结果基本符合。根据确定的装调误差优化设计线宽压窄模块的装调方法,对模块的光谱控制工程化具有一定的指导意义。 %U http://www.opticsjournal.net/Articles/abstract?aid=OJ180330000080x5A8D0