%0 Journal Article
%T 紫外光驱动微纳结构薄膜的气敏特性研究<br>Progress in Research on NO2 Gas Sensing Properties of ZnO Micro/Nanoporous Array Thin Films Under UV Irradiation
%A 苏星松
%A 周飞
%A 许宗珂
%A 李圆圆
%A 段国韬
%J 电子科技大学学报
%D 2017
%R 10.3969/j.issn.1001-0548.2017.04.024
%X 采用基于有机模板的溶液浸渍-无损转移法制备ZnO微纳多孔有序薄膜，研究了在不同紫外光强度照射下和不同尺寸孔径的ZnO微纳多孔有序薄膜对NO2气敏性能的影响。结果表明，以500 nm聚苯乙烯（PS）球为模板制备的ZnO微纳多孔薄膜传感器，在0.35 mW/cm3紫外光照射下具有较高的灵敏度、较快的响应和恢复时间。随着紫外光强度的增强和孔径尺寸的增大， ZnO微纳多孔薄膜传感器的灵敏度降低；且在紫外光照射下ZnO微纳有序多孔薄膜对乙醇、甲醛、H2S、SO2和CH4等气体具有很好的选择性。<br>
%K 气敏性能
%K 微纳有序多孔薄膜
%K 灵敏度
%K 紫外光
%K ZnO&lt
%K br&gt
%U http://manu50.magtech.com.cn/dzkjdx/CN/abstract/abstract1595.shtml