%0 Journal Article
%T 化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构性能的影响<br>Influence of Stoichiometric Ratio on the Properties of BaTiO3 Thin Films Grown on Nickel Substrates
%A 杜辉
%A 李洋
%A 梁伟正
%A 高敏
%A 张胤
%A 林媛
%J 电子科技大学学报
%D 2015
%R 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.05.024
%X 该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积(PAD)法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡(BaTiO3)薄膜,并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明,钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛相,适宜浓度的钛过量可以降低BaTiO3/Ni集成结构1个数量级的漏电流密度,减少介电损耗约50%,并能有效提高集成结构的介电常数。对BaTiO3薄膜的漏电流导电机制进行了分析,并对钛过量影响集成结构的漏电特性和介电性能的原因进行了讨论。<br>
%K 介电性能
%K 钛酸钡
%K 薄膜材料
%K 漏电流&lt
%K br&gt
%U http://manu50.magtech.com.cn/dzkjdx/CN/abstract/abstract149.shtml