%0 Journal Article
%T <br>
%A 刘忠范
%A 娄艳辉
%A 易庆华
%A 赵杰
%A 邹贵付
%J 物理化学学报
%D 2017
%R 10.3866/PKU.WHXB201611091
%X <br>随着薄膜材料的日益发展和新型薄膜材料的不断涌现，开发薄膜生长技术对于半导体和光电等科技领域的作用日益突出。本文主要介绍最近发展的聚合物辅助沉积从分子层面上控制生长高质量的薄膜材料。聚合物辅助沉积是一种生长高质量薄膜的化学水性溶液方法，将金属离子与聚合物通过络合、氢键或静电等方式形成一种均匀稳定的前驱体溶液，再经过超滤、成膜和热处理形成高质量的金属氧化物、金属碳化物、金属氮化物、金属单质、金属硫/硒化物等薄膜以及纳米粒子等化合物或复合功能材料。该方法中水溶性的聚合物能通过络合作用抑制金属离子的水解使得溶液稳定，并能精确控制薄膜的组分从而形成高质量的薄膜。该化学溶液方法的提出为科学技术领域提供了一种低成本和大面积制备薄膜的技术路线。本文最后总结和展望了聚合物辅助沉积法未来的挑战和发展方向
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/Y2017/V33/I2/314