%0 Journal Article
%T 电子束用聚焦静电透镜的优化设计 Optimal design of electrostatic focusing lens for electron beam
%A 陈俊
%A 陈仕修
%A 高深
%A 季曾超
%J 武汉大学学报(工学版)
%D 2018
%X 在分析静电透镜电子光学理论的基础上,提出电场优化计算的目标函数,借助ANSYS软件确定了透镜电极中心点电位、优化设计透镜极的尺寸;同时利用Magic粒子模拟软件得到电子束包络线,聚焦效果满足设计指标.实验结果表明,随着外加电压逐步增加,收集极上的光斑向中心汇聚,亮度增强,电压过高时出现光斑发散.电压为60kV时,具有理想的聚焦效果,束斑直径在10mm左右,达到了设计要求
%K 静电透镜
%K 电子束
%K 轴对称静电场
%K 粒子模拟软件
%U http://wsdd.cbpt.cnki.net/WKC/WebPublication/paperDigest.aspx?paperID=4fa03e88-1921-4e60-8e73-d2d88639cb46