%0 Journal Article
%T 碳含量对TiCN涂层的结构和力学性能的影响 Structure and Mechanical Properties of Carbon Content on the TiCN Coating Effect
%A 李银成
%A 闫少健
%A 韩滨
%A 王微
%A 付德君
%J 武汉大学学报(理学版)
%D 2015
%X 采用多弧离子镀技术,以N2为氮源,C2H2为碳源,Ti为靶源,在单晶硅和硬质合金衬底上沉积Ti CN硬质涂层,系统地研究制备工艺对Ti CN涂层的结构、形貌、硬度及摩擦学性能的影响.用X射线衍射、原子力显微镜和扫描电子显微镜测量了涂层的形貌和晶体结构;用HX-1000显微硬度计和HH-3000划痕仪测量了涂层的硬度和结合强度.研究结果表明:Ti CN和Ti N涂层同为单相的Na Cl型面心立方结构;在优化条件下制备的Ti CN涂层的最高硬度为38.5 GPa,远高于Ti N涂层的27.9 GPa硬度;Ti CN涂层与硬质合金的膜基结合力超过70 N
%K 多弧离子镀
%K TiCN
%K 显微硬度
%K 结合力
%U http://whdy.cbpt.cnki.net/WKD/WebPublication/paperDigest.aspx?paperID=7105b9b9-df6a-4f30-93cc-2d0f0afa7df2