%0 Journal Article
%T 钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势 Research status and development trend of molybdenum and molybdenum alloy sputtering target materials
%A 陈艳芳
%A 谢敬佩
%A 王爱琴
%A 马窦琴
%A 杨康
%A 郭惠丹
%J 粉末冶金技术
%D 2018
%X 钼及钼合金具有熔点高、导电导热性好、热膨胀系数低、耐腐蚀性能好及环境友好等优点,利用钼及钼合金加工制备的溅射靶材已广泛应用于电子电器、太阳能电池及玻璃镀膜等领域。本文介绍了对钼及钼合金溅射靶材的基本要求及制备方法,系统综述了目前国内外对钼、钼钛、钼钠、钼铌合金靶材的研究现状,并对钼及钼合金溅射靶材未来的发展趋势进行了展望。
%K 钼
%K 钼合金
%K 溅射靶材
%K 研究现状
%K 发展趋势
%U http://fmyj.cbpt.cnki.net/WKE/WebPublication/paperDigest.aspx?paperID=f8494c37-4c92-424f-bc0d-7f254d5c2081