%0 Journal Article
%T tib_2超硬薄膜的合成及性能
%A 王曦
%J 材料研究学报
%D 1996
%X ？采用离子束溅射方法制备了tib2硬质薄膜afm观察表明薄膜表面非常光滑aes、xrd和xps分析证明薄膜中上要是b、ti比为1.8,六方结构的tib2多品体,且呈现强烈的(101)择优取向.由超显微压痕测量系统测得的加载、卸载曲线计算得到的薄膜的防微硬度高达48gpa。
%K 离子束
%K 薄膜
%K tib_2
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract16005.shtml