%0 Journal Article
%T 激光低温沉积金刚石膜
%A 冯钟潮
%A 张炳春
%A 赵岩
%A 王亚庆
%J 材料研究学报
%D 1996
%X ？用xecl紫外与co2红外复合激光化学气相沉积方法,在340℃硅衬底上沉积成高纯金刚石膜。
%K 金刚石
%K 激光
%K 化学气相沉积
%K 低温
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract15933.shtml