%0 Journal Article
%T 温度场对热丝化学气相沉积大面积生长金刚石膜的影响
%A 陈岩
%A 黄荣芳
%A 闻立时
%A 师昌绪
%J 材料研究学报
%D 1995
%X ？用100×100mm大面积加热器进行了气相生长金刚石膜试验,对得到的金刚石膜样品作了拉曼光谱分析,并用扫描电镜观察了不同空间区域中金刚石形核的特点.拉曼光谱和扫描电镜观察的结果,均给出了与温度分布特点较好的对应.本研究的结果,指出厂热丝法大面积气相生长金刚石膜工业应用的可能性.
%K 气相况积
%K 金刚石薄膜
%K 温度场
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract16112.shtml