%0 Journal Article
%T 火焰法沉积金刚石薄膜过程中碳在基底中的行为
%A 郭志猛
%A 殷声
%A 赖和怡
%J 材料研究学报
%D 1995
%X ？采用火焰法在mo基底上沉积金刚石薄膜,研究了在沉积过程中c在mo基底中的行为.结果表明,在mo基层上沉积金刚石时,碳原子与mo反应形成mo2c,随着时间延长,mo2c层加厚,c原子扩散进入基底的速率下降,之后c原子在mo2c层表面达到过饱和开始金刚石形核.
%K 燃烧火焰
%K 沉积
%K 金刚石
%K 扩散
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract16084.shtml