%0 Journal Article
%T 氮化铁梯度薄膜的制备
%A 姜恩永
%A 刘晖
%A 刘明升
%A 林川
%A 孙多春
%J 材料研究学报
%D 1995
%X ？用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料.卢瑟福背散射分析结果表明,铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化.在薄膜中有ζ-fe2n,ε-fexn(2
%K 对向靶溅射
%K 氮化铁薄膜
%K 梯度薄膜
%K 卢瑟福背散射
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract16157.shtml