%0 Journal Article %T 低温共烧多层aln陶瓷基片 %A 吴音 %A 缪卫国 %A 刘耀诚 %A 周和平 %J 材料研究学报 %D 1998 %X ?介绍了由高热导率aln陶瓷与金属w制备的低温共烧多层aln基片研究了以dy2o3为主的添加系统对低温烧结aln性能、显微结构的影响以及制备低温共烧基片的关键工艺,如排胶、烧成等,结果表明:以dy2o3为主的添加系统可有效地降低烧结温度和去除aln晶格氧在1650℃的氮中无压烧结4h,热导率达130w(m·k)-1;两步排胶法可以较好地解决w氧化及aln晶粒表面吸附残余碳的问题;烧结时在1400~1650℃慢速升温,可减小共烷基片的翘曲和残余应力 %K aln陶瓷 %K 低温共烧 %K 多层送片 %K 热导率 %U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract15720.shtml