%0 Journal Article
%T 磁控溅射制备sic薄膜的高温热稳定性
%A 祝元坤
%A 朱嘉琦
%A 韩杰才
%A 梁军
%A 　张元纯
%J 材料研究学报
%D 2009
%X ？采用磁控溅射方法在si基底上制备sic薄膜,研究了sic薄膜经不同温度和气氛条件高温退火前后结构、成份的变化.结果表明,薄膜主要以非晶为主,由si--c键,c--c键和少量si的氧化物杂质组成;在真空条件下经高温退火后,薄膜c--c键的含量减少,而si--c键的含量增加,真空退火有利于sic的形成;在800℃空气中退火后,薄膜表面生成一层致密的sio2薄层,阻止了氧气与薄膜内部深层的接触,有效保护了内部的sic.在空气条件下,sic薄膜在800℃具有较好的热稳定性.
%K 无机非金属材料
%K 磁控溅射
%K 热稳定性
%K 高温退火
%K sic薄膜
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract9069.shtml