%0 Journal Article
%T 真空感应熔炼和定向凝固制备多晶硅中铝的除杂
%A 冀明
%A 董伟
%A 谭毅
%A 孙世海
%A 李国斌
%J 材料研究学报
%D 2010
%X ？用真空感应熔炼和定向凝固法制备多晶硅,通过成分测定和理论计算研究了铝杂质的除杂机理。结果表明,在真空熔炼保温阶段(t？≥1723k),硅中的铝杂质明显蒸发;在随后的定向凝固过程中,铝杂质的分凝偏析是主要的,但仍有部分铝蒸发。建立了一个包括铝分凝和蒸发机制的新模型,模拟铝在硅中的分布曲线。模拟结果与铝在硅中的实际分布符合得很好。
%K 无机非金属材料
%K ？多晶硅
%K ？真空感应熔炼
%K ？定向凝固
%K 铝
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract19050.shtml