%0 Journal Article
%T 掺硼对超纳米金刚石薄膜的影响
%A 王玉乾
%A 王兵
%A 孟祥钦
%A 甘孔银
%J 材料研究学报
%D 2009
%X ？采用微波等离子体化学气相沉积(mpcvd)技术,利用氩气、甲烷、二氧化碳混合气体,制备出平均晶粒尺寸在7.480nm左右、表面粗糙度在15.72nm左右的高质量的超纳米金刚石薄膜;在此工艺基础上以硼烷作为掺杂气体,合成掺硼的金刚石薄膜.表征结果显示在一定的浓度范围内随着硼烷气体的通入,金刚石薄膜的晶粒尺寸及表面粗糙度增大、结晶性变好,不再具有超纳米金刚石膜的显微结构和表面形态;同时膜材的物相组成也发生改变,金刚石组份逐渐增多,并且膜层内出现了更明显的应力以及更好的导电性能.
%K 无机非金属材料
%K 掺硼
%K 超纳米金刚石薄膜
%K 化学气相沉积
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract8918.shtml