%0 Journal Article
%T 薄膜生长的三维蒙特卡罗模型
%A 朱祎国
%J 材料研究学报
%D 2009
%X ？构造三维蒙特卡罗模型,研究了六边形基底薄膜生长的过程.在模型中针对每个原子考虑了原子沉积、原子扩散及原子脱附三个动力学过程,并认为这三个过程是相互独立的,即在同一计算步长中三个过程依据各自的概率发生.经过生长过程可视化的结果表明,薄膜原子之间的相互作用能、基底温度和沉积速率对薄膜的生长方式有显著的影响.这一结论得到了实验的验证.
%K 材料科学基础学科
%K 薄膜生长
%K 三维montecarlo模型
%K 生长方式
%K 形貌
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract9383.shtml