%0 Journal Article
%T 硝磷酸腐蚀对cdte薄膜性能及背接触层的影响
%A 李卫　
%A 冯良桓　
%A 郝瑞英　
%A 陈茜
%J 材料研究学报
%D 2007
%X ？采用硝磷酸(np)背表面刻蚀工艺并结合真空共蒸发法分别沉积了几种背接触层材料,研究了np腐蚀对cdte薄膜性能及背接触层的影响.结果表明:np腐蚀后在cdte薄膜上产生了富碲层;退火后,碲容易与背接触材料中的铜反应生成cuxte.通过严格控制和优化腐蚀工艺,选择znte/znte:cu作为背接触层材料,可制备出优异性能的cdte太阳电池.
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1958.shtml