%0 Journal Article
%T 织构对cvd自支撑金刚石薄膜残余应变的影响
%A 朱宏喜　
%A 毛卫民　
%A 冯惠平
%J 材料研究学报
%D 2007
%X ？计算了薄膜试样不同方向的弹性模量,研究了织构和甲烷浓度对cvd自支撑金刚石薄膜的宏观残余应变的影响.结果表明,织构使cvd金刚石薄膜的弹性模量和宏观残余应变呈现各向异性.甲烷浓度的升高导致织构组分密度水平变化,使薄膜的弹性模量增大,从而降低残余应变;另一方面,杂质浓度的升高增大宏观残余应变.改变薄膜沉积工艺参数可调整织构,从而调节薄膜的残余应力.
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract2011.shtml