%0 Journal Article %T 原子层淀积al2o3薄膜表面自组装au纳米颗粒及其热稳定性 %A 黄玥 %A 廖忠伟 %A 苟鸿雁 %A 丁士进 %A 张卫 %J 材料研究学报 %D 2009 %X ?在原子层淀积的al2o3薄膜表面自组装生长au纳米颗粒,研究了au纳米颗粒的自组装过程和热稳定性.结果表明,原子层淀积的al2o3薄膜表面很容易吸附氨丙基三甲基硅烷(aptms),有利于au纳米颗粒的自组装,生长出的au纳米颗粒尺寸为5--8nm,密度约为4×1011cm-2.在300℃氮气中退火使au纳米颗粒的尺寸增大,但是没有改变aptms的吸附状态和au的化学组成.当退火温度提高到450℃时,au纳米颗粒发生明显的团聚,且分布变得极不均匀. %K 金属材料 %K 化学自组装生长 %K au纳米颗粒 %K 热稳定性 %U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract8540.shtml