%0 Journal Article
%T 锆钛酸铅(pzt)薄膜的自发极化与压电响应
%A 程晋荣(
%A )
%A 徐东()
%A 孟中岩()
%J 材料研究学报
%D 2000
%X ？用溶胶--凝胶法在pt/ti/sio$_{2}$/si(100)基片上制备了近等原子比的压电pzt薄膜.在准同型相界附近的pzt薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应,内电场导致薄膜的自发极化定向,使薄膜未经极化就具有明显的压电响应.
%K 压电薄膜
%K 溶胶--凝胶
%K mems
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1639.shtml