%0 Journal Article
%T 交变电流对60nm厚纳米晶铜互连线变形失效行为的影响
%A 张金钰
%A 赵义
%A 刘刚
%A 张敬
%A 孙军
%J 材料研究学报
%D 2010
%X ？原位观察交变电流作用下纳米晶铜互连线的表面损伤形貌演化过程,重点研究了交变热--机械载荷作用下硅基铜互连线的电致热疲劳性能。结果表明,铜互连线电致热疲劳寿命随着电流密度的增加而减小；载流铜互连线表现出新的变形方式,具有独特的电致热疲劳行为特征。在低电流密度(j<10ma/cm2)条件下,在电致热疲劳中应力控制的晶粒挤出损伤机制起主导作用；而在高电流密度(j>10ma/cm2)条件下,交变电流产生的焦耳热效应起主导作用。
%K 金属材料
%K ？交变电流
%K ？
%K 纳米晶铜膜
%K ？尺寸效应
%K ？疲劳行为
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract18795.shtml