%0 Journal Article
%T pecvd法制备类金刚石薄膜的摩擦学性能
%A 王庆良
%A 孙彦敏
%A 张磊
%J 材料研究学报
%D 2011
%X ？采用射频等离子体增强化学气相沉积法(rf--pecvd),在45钢表面沉积了类金刚石(dlc)薄膜,借助激光拉曼光谱仪(raman)、x射线光电子能谱(xps)、扫描电子显微镜(sem)和原子力显微镜(afm),分析了dlc膜的键结构、表面形貌和结构特征,用原位纳米力学测试系统测定了薄膜的硬度。以gcr15钢为摩擦副材料,用umt--ⅱ摩擦磨损实验机考察了不同载荷和滑行速度条件下dlc膜的摩擦磨损性能,并分析了磨损机理。结果表明,在45钢表面沉积的薄膜具有典型的类金刚石薄膜的结构特征,薄膜表面由致密的纳米级颗粒组成,具有较高的硬度。在各种摩擦磨损实验条件下dlc薄膜表现出良好的抗磨损性能,摩擦系数均明显比45钢的低,尤其在高速低载下摩擦系数低至0.008。
%K 材料表面与界面
%K 等离子增强化学气相沉积
%K 类金刚石膜
%K xps
%K 摩擦磨损
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract19418.shtml