%0 Journal Article
%T 氧化锌透明导电薄膜的制备及其特性
%A 倪星元
%A 吴永刚
%A 吴广明
%A 张慧琴
%A 金哲民
%J 材料研究学报
%D 1999
%X ？氧化锌薄膜的透明导电特性与化学计量偏离和溅射条件有关.以2%(质量分数)氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作靶,采用rf磁控溅射技术制备的透明导电薄膜,其电阻率4.5×10-3ωcm,载流子浓度2.8×1020cm-3,霍尔迁移率15.8cm2/v.s,平均透射率(400-800nm)大于80%.
%K 氧化锌薄膜
%K 透明导电薄膜
%K 溅射
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1727.shtml