%0 Journal Article
%T 热场分布对大直径czsi单晶中氧含量的影响
%A 任丙彦
%A 张志成
%A 刘彩池
%A 郝秋艳
%J 材料研究学报
%D 2001
%X ？为了降低大直径czsi单晶生长过程中氧的引入,采用不同的热场,通过最优化方法,得到了适于大直径(154mm)晶体生长的热场温度分布,使熔体的纵向温度梯度下降,热对流减小,硅单晶中氧含量降低.
%K czsi
%K 氧含量
%K 热场分布
%K 热对流
%K 数值模拟
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1445.shtml