%0 Journal Article
%T zno/sic/si异质结构的特性
%A 段理　
%A 林碧霞　
%A 姚然　
%A 傅竹西
%J 材料研究学报
%D 2006
%X ？用mocvd方法在p型单晶si(100)基片上外延sic层,再用直流溅射在sic层上生长zno薄膜,制备出zno/sic/si异质结构,用xrd和afm分析了zno/sic/si和zno/si异质结构中表层zno的结构和形貌的差别,研究了这种异质结构的特性.结果表明,在si(100)基片上外延生长出的是高取向、高结晶质量的sic(100)层.这个sic层缓冲层使在si基片上外延生长出了高质量zno薄膜,因为zno与sic的晶格失配比zno与si的晶格失配更低.
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1889.shtml