%0 Journal Article
%T 用ecr--cvd方法制备定向碳纳米管
%A 王志(沈阳)
%A 巴德纯
%A 曹培江
%J 材料研究学报
%D 2004
%X ？以fe$_{3}$o$_{4}$纳米粒子为催化剂,ch$_{4}$和h$_{2}$为气源,采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ecr--cvd)在多孔硅基底上制备出定向生长的碳纳米管.研究了气氛组成、气压、温度和反应时间对碳纳米管生长特性的影响.使用扫描电子显微镜(sem)、透射电子显微镜(tem)和拉曼光谱(ramanspectrum)表征了样品的形貌和结构.结果表明:气氛组成和气压影响了反应腔内离解碳的浓度,从而影响碳纳米管的成核、生长速度及定向生长;温度的变化改变催化剂的尺寸从而改变碳纳米管的直径,在过低的温度下碳纳米管不能实现定向生长;碳纳米管随着反应时间的延长而不断增长,但超过一定时间后催化剂颗粒被碳包覆而失去催化作用,生长停止.
%K 无机非金属材料
%K 碳纳米管
%K 电子回旋共振微波
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1096.shtml