%0 Journal Article
%T 高功率脉冲磁控溅射zrn纳米薄膜制备及性能研究
%A 吴忠振
%A 田修波
%A 段伟赞
%A 巩春志
%A 杨士勤
%J 材料研究学报
%D 2010
%X ？采用高功率复合脉冲磁控溅射的方法(hppms)在不锈钢基体上制备zrn纳米薄膜,并研究了不同的工作气压对薄膜形貌、相结构及各种性能的影响。采用sem、xrd对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的薄膜表面光滑、致密,无大颗粒,主要以zrn(111)和zrn(220)晶面择优生长,并呈现出多晶面竞相生长的现象。对薄膜硬度、弹性模量、耐磨性和耐腐蚀性的测试发现薄膜具有很高的硬度,最高可达33.1gpa,同时摩擦系数均小于0.2,耐腐蚀性也都有很大提高,腐蚀电位比基体提高了0.28v,腐蚀电流下降到未处理工件的1/5。工作气压较低时,薄膜耐磨耐蚀性能都较好,但在较高气压时,耐磨耐蚀性能出现一定的下降。
%K 材料表面与界面
%K 高功率脉冲磁控溅射
%K ？氮化镐
%K ？微观结构
%K ？表面性能
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract19330.shtml