%0 Journal Article
%T 非化学计量比sbox薄膜的结晶动力学研究
%A 方铭
%A 李青会
%A 干福熹
%J 材料研究学报
%D 2004
%X ？利用直流磁控反应溅射法在不同氧分压下制备了sbox薄膜，对退火前后薄膜的x射线衍射(xrd)分析表明，退火后薄膜结构发生了从非晶态向晶态的转变。利用示差扫描量热法(dsc)测出不同升温速度条件下非晶态薄膜粉末的晶化峰温度，用kissinger公式计算了材料的结晶活化能。计算结果表明，随着溅射时氧分压的增加，薄膜的结晶活化能增加，而相应的非晶态与晶态之间的焓差则呈现出相反的变化趋势。
%K 无机非金属材料
%K sbox薄膜
%K 反应溅射
%K xrd
%K dsc
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract982.shtml