%0 Journal Article
%T ru-cr下底层成分对co-w磁性薄膜结构和磁性能的影响*
%A 王建军
%A 高崇
%A 刘春明
%J 材料研究学报
%D 2014
%X ？用直流磁控溅射在300℃不同ru-x%cr(x=0,20,40)下底层沉积制备了co-15%w(原子分数)磁性薄膜。用xrd表征了薄膜的精细晶体结构,分析了co-w和ru-cr层的取向关系,估算了薄膜层的晶格常数、c轴分散角、fcc/hcp体积百分比和堆垛层错密度值。结果表明,随着ru-cr下底层cr成分的增加co-w磁性层和ru-cr下底层间的晶格错配度降低,hcp-co的晶格常数比c/a随之减小。磁性能测试结果证实,由于co-w磁性层中晶格常数比c/a的减小磁性层的磁各向异性能显著提高。
%K 金属材料
%K co-w磁性薄膜
%K xrd
%K 晶体结构
%K 磁各向异性能
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract22527.shtml