%0 Journal Article
%T 同质异构ssio2/msio2核/壳复合磨粒的合成
%A 陈杨
%A 汪亚运
%A 秦佳伟
%J 材料研究学报
%D 2015
%X ？以正硅酸乙酯为硅源、以氨水为催化剂、十六烷基三甲基溴化铵为结构导向模板剂,在单分散实心氧化硅(solid-sio2,ssio2)内核表面包覆介孔氧化硅(mesoporous-sio2,msio2)外壳,合成了同质异构氧化硅(ssio2/msio2)核/壳复合磨粒。用小角xrd、fesem、hrtem、ftir、tga和氮气吸附-脱附等手段对样品的结构进行了表征。结果表明,具有放射状介孔孔道的msio2均匀连续包覆在ssio2内核(210-230nm)外表面,形成了厚度为70-80nm的外壳。壳层中的介孔孔道(孔径约2-3nm)基本垂直于内核表面,且复合磨粒样品具有较大的比表面积(558.2m2/g)。用afm形貌分析和轮廓分析评价了所制备的复合磨粒对sio2薄膜的抛光特性。与常规实心sio2磨粒相比,ssio2/msio2复合磨粒明显改善了抛光表面质量并提高了材料去除率。这可能归因于msio2壳层通过机械和/或化学方面的作用对磨粒与衬底之间真实界面接触环境的优化。
%K 无机非金属材料
%K 介孔氧化硅
%K 核壳结构
%K 复合磨粒
%K 化学机械平坦化
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract23909.shtml